
| Item | Tegniese Eiendom | ||
| Suiwer stikstof | Hoë suiwerheid stikstof | Ultrasuiwer stikstof | |
| Stikstof (N2) suiwerheid (volumefraksie)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
| Suurstof (O2) inhoud (volumefraksie)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
| Argon (Ar) inhoud (volumefraksie)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Waterstof (H2) inhoud (volumefraksie)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
| Koolstofmonoksied (CO) inhoud (volumefraksie)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Koolstofdioksied (CO2) inhoud (volumefraksie)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
| Metaan (CH4) inhoud (volumefraksie)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Water (H2O) inhoud (volumefraksie)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |