
| Maddə | Texniki Mülkiyyət |
| Yüksək təmiz helium | |
| Helium He saflığı (həcm hissəsi)/10-2≥ | 99.999 |
| Neon (Ne) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 4 |
| Hidrogen (H2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6 ≤ | 1 |
| Oksigen (O2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6 ≤ | 1 |
| Arqon (Ar) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6 ≤ | |
| Azot (N2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6 ≤ | 2 |
| Karbon monoksit (CO) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.5 |
| Karbon qazı (CO2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.5 |
| Metan (CH4) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 0.5 |
| Su H2O məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 3 |
| Ümumi jurnal məzmunu/10-6≤ | 10 |