
| Maddə | Texniki Mülkiyyət | ||
| Təmiz azot | Yüksək saflıqda azot | Ultra saf azot | |
| Azot (N2) təmizlik (həcm hissəsi)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
| Oksigen (O2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
| Arqon (Ar) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Hidrogen (H2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
| Karbon monoksit (CO) tərkibi (həcm hissəsi)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Karbon qazı (CO2) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
| Metan (CH4) məzmunu (həcm hissəsi)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Su (H2O) məzmun (həcmi kəsr)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |