Прадукты
Тэтрафтарыд вугляроду
Тэтрафторметан, таксама вядомы як тэтрафтарыд вугляроду, — гэта найпрасцейшы фторвуглярод (CF4). Ён мае вельмі высокую трываласць сувязі дзякуючы характару сувязі вуглярод-фтор. Яго таксама можна класіфікаваць як галагеналкан або галагенаметану. З-за некалькіх сувязей вуглярод-фтор і найвышэйшай электраадмоўнасці фтору, вуглярод у тэтрафторметане мае значны станоўчы частковы зарад, які ўмацоўвае і скарачае чатыры сувязі вуглярод-фтор, надаючы дадатковы іённы характар. Тэтрафторметан — магутны парніковы газ.
Тэтрафторметан часам выкарыстоўваецца ў якасці нізкатэмпературнага холадагенту. Ён ужываецца ў мікравытворчасці электронікі асобна або ў спалучэнні з кіслародам у якасці плазменнага травільніка для крэмнію, дыяксіду крэмнію і нітрыду крэмнію.
| Хімічная формула | CF4 | Малекулярная маса | 88 |
| Нумар CAS | 75-73-0 | Нумар EINECS | 200-896-5 |
| Тэмпература плаўлення | -184℃ | Кропка кіпення | -128,1℃ |
| растваральнасць | Нерастваральны ў вадзе | Шчыльнасць | 1,96 г/см³ (-184℃) |
| Знешні выгляд | Бясколерны, без паху, неўзгаральны, сціскальны газ | Прыкладанне | выкарыстоўваецца ў працэсе плазменнага травлення розных інтэгральных схем, а таксама ў якасці лазернага газу, холадагенту і г.д. |
| Ідэнтыфікацыйны нумар Міністэрства транспарту ЗША | ААН1982 | Назва адпраўніка DOT/IMO: | Тэтрафторметан, сціснуты або халадзільны газ R14 |
| Клас небяспекі Міністэрства транспарту ЗША | Клас 2.2 |
| Пункт | Значэнне, I клас | Значэнне, II клас | Адзінка |
| Чысціня | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | праміле аб'ёму |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | праміле аб'ёму |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | праміле аб'ёму |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | праміле аб'ёму |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | праміле аб'ёму |
| Іншыя фторвугляроды | ≤1,0 | ≤0,5 | праміле аб'ёму |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | праміле аб'ёму |
| H2 | ≤1,0 | —— | праміле аб'ёму |
| Кіслотнасць | ≤0,1 | ≤0,1 | праміле аб'ёму |
| *іншыя фторвугляроды адносяцца да C2F6С3F8 | |||
Заўвагі
1) усе вышэйпаказаныя тэхнічныя дадзеныя прызначаны для азнаямлення.
2) альтэрнатыўная спецыфікацыя вітаецца для далейшага абмеркавання.
