Продукти
Въглероден тетрафлуорид
Тетрафлуорометанът, известен още като въглероден тетрафлуорид, е най-простият флуоровъглерод (CF4). Той има много висока сила на свързване поради естеството на връзката въглерод-флуор. Може да бъде класифициран и като халоалкан или халометан. Поради множеството връзки въглерод-флуор и най-високата електроотрицателност на флуора, въглеродът в тетрафлуорометана има значителен положителен частичен заряд, който укрепва и скъсява четирите връзки въглерод-флуор, като осигурява допълнителен йонен характер. Тетрафлуорометанът е мощен парников газ.
Тетрафлуорометанът понякога се използва като нискотемпературен хладилен агент. Използва се в микропроизводството на електроника самостоятелно или в комбинация с кислород като плазмен ецващ агент за силиций, силициев диоксид и силициев нитрид.
| Химична формула | CF4 | Молекулно тегло | 88 |
| CAS номер | 75-73-0 | EINECS № | 200-896-5 |
| Точка на топене | -184℃ | Точка на кипене | -128,1℃ |
| разтворимост | Неразтворим във вода | Плътност | 1,96 г/см³ (-184 ℃) |
| Външен вид | Безцветен, без мирис, незапалим, свиваем газ | Приложение | използва се в процеса на плазмено ецване за различни интегрални схеми, а също и като лазерен газ, хладилен агент и др. |
| Идентификационен номер на DOT | ООН1982 | Име на пратката по DOT/IMO: | Тетрафлуорометан, сгъстен или хладилен газ R14 |
| Клас на опасност по DOT | Клас 2.2 |
| Елемент | Стойност, клас I | Стойност, II степен | Единица |
| Чистота | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Други флуоровъглероди | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Киселинност | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *други флуоровъглероди се отнасят до C2F6C3F8 | |||
Бележки
1) всички посочени по-горе технически данни са за ваша справка.
2) алтернативна спецификация е добре дошла за по-нататъшно обсъждане.
