
| Елемент | Техническа собственост | ||
| Чист азот | Азот с висока чистота | Ултрачист азот | |
| Азот (N2) чистота (обемна фракция)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99.9999 |
| Кислород (O2) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
| Съдържание на аргон (Ar) (обемна фракция)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Водород (H2) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
| Съдържание на въглероден оксид (CO) (обемна фракция)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Въглероден диоксид (CO2) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
| Метан (CH4) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Вода (H2O) съдържание (обемна фракция)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |