
| Stavka | Tehnička imovina | ||
| Čisti dušik | Visokočisti dušik | Ultračisti dušik | |
| Dušik (N2) čistoća (volumenski udio)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99,9999 |
| Kiseonik (O2) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
| Sadržaj argona (Ar) (volumenski udio)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Vodonik (H2) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
| Sadržaj ugljičnog monoksida (CO) (volumenski udio)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Ugljikov dioksid (CO2) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
| Metan (CH4) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Voda (H2O) sadržaj (volumenski udio)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |