Produkty
Argonový plyn pro elektronický průmysl (Ar)
| Položka | Technické vlastnosti | |
| Čistota argonu (Ar) (objemový podíl)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
| Vodík (H2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
| Dusík (N2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Kyslík (O2) obsah (objemový zlomek)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Celkový obsah oxidu uhelnatého (CO) a oxidu uhličitého (CO2), (objemový podíl)/10-6≤ | Oxid uhelnatý: 0,1 Oxid uhličitý: 0,1 | 0,5 |
| Celkový obsah uhlovodíků (vypočteno z metanu) (objemový podíl)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
| Voda (H2obsah O) (objemový podíl)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Celkový obsah nečistot (objemový podíl)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Obilí | Dohodnuto mezi dodavatelem a poptávkou | Dohodnuto mezi dodavatelem a poptávkou |
| Poznámka: Obsah vody v kapalném argonu se měří po zplyňování. | ||
Oblast použití: používá se hlavně k proplachování, ochraně a natlakování systému. Lze jej také použít při chemickém nanášení z plynné fáze, naprašování, plazmovém a aktivním iontovém leptání, žíhání a dalších různých procesech, stejně jako ve speciálních směsných plynech pro elektroniku.
Napište sem svou zprávu a odešlete nám ji
