
| Eitem | Eiddo Technegol | ||
| Nitrogen pur | Nitrogen purdeb uchel | Nitrogen uwch-bur | |
| Nitrogen (N2) purdeb (ffracsiwn cyfaint)/10-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
| Ocsigen (O2) cynnwys (cyfran cyfaint)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
| Cynnwys argon (Ar) (cyfrann cyfaint)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Hydrogen (H2) cynnwys (cyfran cyfaint)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
| Cynnwys carbon monocsid (CO) (cyfrann cyfaint)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Carbon deuocsid (CO2) cynnwys (cyfran cyfaint)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
| Methan (CH4) cynnwys (cyfran cyfaint)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Dŵr (H2O) cynnwys (cyfrann cyfaint)/10-6≤ | 15 | 3 | 0.5 |