
| Punkt | Teknisk egenskab | ||
| Ren ilt | Høj renhed ilt | Ultrarent ilt | |
| Ilt (O2) renhed (volumenfraktion)/10-2≥ | 99,995 | 99.999 | 99,9999 |
| Brint (H2) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Argonindhold (Ar) (volumenfraktion)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
| Kvælstof (N2) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
| Kuldioxid (CO2) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Totalt kulbrinteindhold (volumenfraktion) (beregnet ved metan)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
| Vand (H2O) indhold (volumenfraktion)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Anvendelsesområde: Anvendes hovedsageligt til fremstilling af standardgasblandinger, videnskabelig forskning, produktion af integrerede kredsløb og halvlederkomponenter og andre områder med høje krav til iltrenhed.