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Argongas für die Elektronikindustrie (Ar)
| Artikel | Technische Eigenschaften | |
| Argon (Ar) Reinheit (Volumenanteil)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
| Wasserstoff (H2) Inhalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
| Stickstoff (N2) Inhalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Sauerstoff (O2) Inhalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Gesamtgehalt an Kohlenmonoxid (CO) und Kohlendioxid (CO2), (Volumenanteil)/10-6≤ | Kohlenmonoxid: 0,1 Kohlendioxid: 0,1 | 0,5 |
| Gesamtkohlenwasserstoffgehalt (berechnet aus Methan) (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
| Wasser (H2O)-Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Gesamtverunreinigungsgehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Getreide | Vereinbart zwischen Lieferant und Nachfrager | Vereinbart zwischen Lieferant und Nachfrager |
| Hinweis: Der Wassergehalt von flüssigem Argon muss nach der Vergasung gemessen werden | ||
Anwendungsbereich: Wird hauptsächlich zum Spülen, Schützen und zur Druckbeaufschlagung des Systems verwendet. Es kann auch bei der chemischen Gasphasenabscheidung, beim Sputtern, Plasma- und aktiven Ionenätzen, beim Glühen und anderen verschiedenen Prozessen sowie in elektronischen Spezialmischgasen verwendet werden.
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