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Reiner Sauerstoff, hochreiner Sauerstoff, ultrareiner Sauerstoff (O2)
| Artikel | Technische Eigenschaften | ||
| Reiner Sauerstoff | Hochreiner Sauerstoff | Hochreiner Sauerstoff | |
| Sauerstoff (O2) Reinheit (Volumenanteil)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,9999 |
| Wasserstoff (H2) Inhalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Argon (Ar)-Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
| Stickstoff (N2) Inhalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
| Kohlendioxid (CO2) Inhalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Gesamtkohlenwasserstoffgehalt (Volumenanteil) (berechnet mit Methan)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
| Wasser (H2O)-Gehalt (Volumenanteil)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Anwendungsbereich: Wird hauptsächlich bei der Herstellung von Standardgasgemischen, in der wissenschaftlichen Forschung, bei der Herstellung von integrierten Schaltkreisen und Halbleiterbauelementen und in anderen Bereichen mit hohen Anforderungen an die Sauerstoffreinheit verwendet.
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