
| Είδος | Τεχνική Ιδιοκτησία | ||
| Καθαρό άζωτο | Άζωτο υψηλής καθαρότητας | Υπερκαθαρό άζωτο | |
| Άζωτο (Ν2) καθαρότητα (κλάσμα όγκου)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99,9999 |
| Οξυγόνο (O2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
| Περιεκτικότητα σε αργό (Ar) (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Υδρογόνο (H2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
| Περιεκτικότητα σε μονοξείδιο του άνθρακα (CO) (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Διοξείδιο του άνθρακα (CO2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
| Μεθάνιο (CH4) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Νερό (H2O) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |