
| Είδος | Τεχνική Ιδιοκτησία | ||
| Καθαρό οξυγόνο | Οξυγόνο υψηλής καθαρότητας | Υπερκαθαρό οξυγόνο | |
| Οξυγόνο (O2) καθαρότητα (κλάσμα όγκου)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99,9999 |
| Υδρογόνο (H2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Περιεκτικότητα σε αργό (Ar) (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
| Άζωτο (Ν2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
| Διοξείδιο του άνθρακα (CO2) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Συνολική περιεκτικότητα σε υδρογονάνθρακες (κλάσμα όγκου) (υπολογιζόμενη με μεθάνιο)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
| Νερό (H2O) περιεχόμενο (κλάσμα όγκου)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Πεδίο εφαρμογής: χρησιμοποιείται κυρίως στην παρασκευή τυποποιημένου μείγματος αερίων, στην επιστημονική έρευνα, στην παραγωγή ολοκληρωμένων κυκλωμάτων και ημιαγωγών και σε άλλους τομείς με υψηλές απαιτήσεις για καθαρότητα οξυγόνου.