
| Ero | Teknika Posedaĵo |
| Alta pureca neono | |
| Neono (Ne) pureco (volumenfrakcio)/10-2≥ | 99.999 |
| Enhavo de heliumo (He) (volumenfrakcio)/10-6≤ | 6 |
| Hidrogeno (H2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 1 |
| Oksigeno+argono (kalkulita per oksigeno) (O2+Ar) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 1 |
| Nitrogeno (N2) enhavo (volumenfrakcio) zz/10-6≤ | 2 |
| Karbona monoksido (CO) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.2 |
| Karbona dioksido (CO2) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.2 |
| Metano (CH4) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 0.1 |
| Akvo (H2O) enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 2 |
| Totala malpuraĵa enhavo (volumenfrakcio)/10-6≤ | 10 |