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Helio electrónico
| Artículo | Propiedad técnica |
| Helio de alta pureza | |
| Pureza del helio He (fracción de volumen)/10-2≥ | 99.999 |
| Contenido de neón (Ne) (fracción de volumen)/10-6≤ | 4 |
| Hidrógeno (H2) contenido (fracción de volumen)/10-6 ≤ | 1 |
| Oxígeno (O2) contenido (fracción de volumen)/10-6 ≤ | 1 |
| Contenido de argón (Ar) (fracción de volumen)/10-6 ≤ | |
| Nitrógeno (N2) contenido (fracción de volumen)/10-6 ≤ | 2 |
| Contenido de monóxido de carbono (CO) (fracción de volumen)/10-6≤ | 0.5 |
| Dióxido de carbono (CO2) contenido (fracción de volumen)/10-6≤ | 0.5 |
| Metano (CH4) contenido (fracción de volumen)/10-6≤ | 0.5 |
| Agua H2Contenido de O (fracción de volumen)/10-6≤ | 3 |
| Contenido total de la revista/10-6≤ | 10 |
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