
| Ese | Tehniline vara | ||
| Puhas lämmastik | Kõrge puhtusastmega lämmastik | Ülipuhas lämmastik | |
| Lämmastik (N2) puhtus (mahufraktsioon)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99.9999 |
| Hapnik (O2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
| Argooni (Ar) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Vesinik (H2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
| Süsinikmonooksiidi (CO) sisaldus (mahufraktsioon) / 10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Süsinikdioksiid (CO2) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
| Metaan (CH4) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Vesi (H2O) sisaldus (mahufraktsioon)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |