Produktuak
Karbono tetrafluoruroa
Tetrafluorometanoa, karbono tetrafluoruro izenez ere ezaguna, fluorokarbono (CF4) sinpleena da. Lotura-indar oso handia du karbono-fluor loturaren izaeragatik. Haloalkano edo halometano gisa ere sailka daiteke. Karbono-fluor lotura anitzak eta fluorra elektronegatibotasun handiena direla eta, tetrafluorometanoko karbonoak karga partzial positibo esanguratsua du, eta horrek lau karbono-fluor loturak indartu eta laburtzen ditu izaera ioniko gehigarria emanez. Tetrafluorometanoa berotegi-efektuko gas indartsua da.
Tetrafluorometanoa batzuetan tenperatura baxuko hozgarri gisa erabiltzen da. Elektronika mikrofabrikazioan bakarrik edo oxigenoarekin konbinatuta erabiltzen da silizio, silizio dioxido eta silizio nitruroaren plasma grabatzaile gisa.
| Formula kimikoa | CF4 | Pisu molekularra | 88 |
| CAS zenbakia | 75-73-0 | EINECS zk. | 200-896-5 |
| Urtze-puntua | -184℃ | Irakite-puntua | -128,1℃ |
| disolbagarritasun | Uretan disolbaezina | Dentsitatea | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Itxura | Gas koloregabea, usainik gabekoa, sukoirik gabekoa eta konprimagarria | Aplikazioa | hainbat zirkuitu integratuetarako plasma grabatzeko prozesuan erabiltzen da, eta laser gas, hozgarri eta abar gisa ere erabiltzen da. |
| DOT ID zenbakia | NBE 1982 | DOT/IMO BIDALKETA IZENA: | Tetrafluorometanoa, R14 gas konprimitua edo hozgarria |
| DOT Arrisku Klasea | 2.2 klasea |
| Elementua | Balioa, I. maila | Balioa, II. maila | Unitatea |
| Garbitasuna | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0.2 | ppmv |
| Beste fluorokarbono batzuk | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Azidotasuna | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *beste fluorokarbonoek C-ri egiten diote erreferentzia2F6C3F8 | |||
Oharrak
1) Goian adierazitako datu tekniko guztiak erreferentzia gisa balio dute.
2) zehaztapen alternatiboak eztabaida gehiagorako ongi etorriak dira.
