
| مورد | ویژگی فنی | ||
| نیتروژن خالص | نیتروژن با خلوص بالا | نیتروژن فوق خالص | |
| نیتروژن (N)2) خلوص (کسر حجمی)/10-2≥ | ۹۹.۹۹ | ۹۹.۹۹۹ | ۹۹.۹۹۹۹ |
| اکسیژن (O2)2) محتوا (کسر حجمی) / 10-6≤ | 50 | 3 | ۰.۱ |
| محتوای آرگون (Ar) (کسر حجمی)/10-6≤ | - | - | 2 |
| هیدروژن (H2)2) محتوا (کسر حجمی) / 10-6≤ | 15 | 1 | ۰.۱ |
| محتوای مونوکسید کربن (CO) (کسر حجمی)/10-6≤ | 5 | 1 | ۰.۱ |
| دی اکسید کربن (CO2)2) محتوا (کسر حجمی) / 10-6≤ | 10 | 1 | ۰.۱ |
| متان (CH4)4) محتوا (کسر حجمی) / 10-6≤ | 5 | 1 | ۰.۱ |
| آب (ح2O) محتوا (کسر حجمی)/10-6≤ | 15 | 3 | ۰.۵ |