
| Tuote | Tekninen ominaisuus | |
| Argonin (Ar) puhtaus (tilavuusosuus)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
| Vety (H2) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
| Typpi (N2) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Happi (O2) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Hiilimonoksidin (CO) ja hiilidioksidin (CO) kokonaispitoisuus2), (tilavuusosuus)/10-6≤ | Hiilimonoksidi: 0,1 Hiilidioksidi: 0,1 | 0,5 |
| Hiilivetyjen kokonaismäärä (laskettuna metaanin mukaan) (tilavuusosuus) / 10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
| Vesi (H2O) pitoisuus (tilavuusosuus)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Kokonaisepäpuhtauspitoisuus (tilavuusosuus) / 10-6≤ | 1 | 8 |
| Vilja | Toimittajan ja kysyjän sopima | Toimittajan ja kysyjän sopima |
| Huomautus: Nestemäisen argonin vesipitoisuus on mitattava kaasutuksen jälkeen. | ||
Käyttöalue: käytetään pääasiassa järjestelmän puhdistukseen, suojaukseen ja paineistukseen. Sitä voidaan käyttää myös kemiallisessa höyrypinnoituksessa, sputteroinnissa, plasma- ja aktiiviionietsauksessa, hehkuttamisessa ja muissa eri prosesseissa, sekä elektroniikkalaitteiden erikoiskaasuseoksissa.