
| Mír | Maoin Theicniúil | ||
| Ocsaigin íon | Ocsaigin ardíonachta | Ocsaigin ultraíon | |
| Ocsaigin (O2) íonacht (codán toirte)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Hidrigin (H2) ábhar (codán toirte)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Ábhar argóin (Ar) (codán toirte)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Nítrigin (N2) ábhar (codán toirte)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Dé-ocsaíd charbóin (CO2) ábhar (codán toirte)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Ábhar iomlán hidreacarbóin (codán toirte) (ríomha de réir meatáin)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| Uisce (H2O) ábhar (codán toirte)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Réimse iarratais: a úsáidtear go príomha in ullmhú meascán gáis chaighdeánach, taighde eolaíoch, táirgeadh ciorcad comhtháite agus gléasanna leathsheoltóra, agus réimsí eile a bhfuil ard-riachtanais acu maidir le híonacht ocsaigine.