Produtos
Tetrafluoruro de carbono
O tetrafluorometano, tamén coñecido como tetrafluoruro de carbono, é o fluorocarbono (CF4) máis simple. Ten unha forza de enlace moi alta debido á natureza do enlace carbono-flúor. Tamén se pode clasificar como haloalcano ou halometano. Debido aos múltiples enlaces carbono-flúor e á maior electronegatividade do flúor, o carbono do tetrafluorometano ten unha carga parcial positiva significativa que fortalece e acurta os catro enlaces carbono-flúor ao proporcionar un carácter iónico adicional. O tetrafluorometano é un potente gas de efecto invernadoiro.
O tetrafluorometano úsase ás veces como refrixerante a baixa temperatura. Úsase na microfabricación de produtos electrónicos só ou en combinación con osíxeno como axente de gravado por plasma para silicio, dióxido de silicio e nitruro de silicio.
| Fórmula química | CF4 | Peso molecular | 88 |
| Nº CAS | 75-73-0 | Nº EINECS | 200-896-5 |
| Punto de fusión | -184 ℃ | Punto de ebulición | -128,1 ℃ |
| solubilidade | Insoluble en auga | Densidade | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Aparencia | Un gas incoloro, inodoro, non inflamable e compresible | Aplicación | empregado no proceso de gravado por plasma para varios circuítos integrados e tamén como gas láser, refrixerante, etc. |
| Número de identificación do DOT | ONU1982 | NOME DO ENVÍO DOT/IMO: | Tetrafluorometano, gas comprimido ou refrixerante R14 |
| Clase de perigo DOT | Clase 2.2 |
| Elemento | Valor, grao I | Valor, grao II | Unidade |
| Pureza | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Outros fluorocarbonos | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Acidez | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *outros fluorocarbonos refírense a C2F6C3F8 | |||
Notas
1) Todos os datos técnicos indicados anteriormente son para a súa referencia.
2) Aceptarase unha especificación alternativa para un debate máis profundo.
