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इलेक्ट्रॉनिक हीलियम
| वस्तु | तकनीकी संपत्ति |
| उच्च शुद्धता हीलियम | |
| हीलियम He शुद्धता (आयतन अंश)/10-2≥ | 99.999 |
| निऑन (Ne) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 4 |
| हाइड्रोजन (H2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6 ≤ | 1 |
| ऑक्सीजन (O2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6 ≤ | 1 |
| आर्गन (Ar) सामग्री (आयतन अंश)/10-6 ≤ | |
| नाइट्रोजन (N2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6 ≤ | 2 |
| कार्बन मोनोऑक्साइड (CO) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.5 |
| कार्बन डाइऑक्साइड (CO2) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.5 |
| मीथेन (CH4) सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 0.5 |
| जल एच2O सामग्री (आयतन अंश)/10-6≤ | 3 |
| कुल पत्रिका सामग्री/10-6≤ | 10 |
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