
| Tétel | Műszaki tulajdonság | ||
| Tiszta oxigén | Nagy tisztaságú oxigén | Ultratiszta oxigén | |
| Oxigén (O2) tisztaság (térfogatszázalék)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Hidrogén (H2) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Argon (Ar) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
| Nitrogén (N2) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
| Szén-dioxid (CO2) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Teljes szénhidrogén-tartalom (térfogatarány) (metánra számítva)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
| Víz (H2O) tartalom (térfogatszázalék)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Alkalmazási terület: főként standard gázkeverékek előállításához, tudományos kutatáshoz, integrált áramkörök és félvezető eszközök gyártásához, valamint más, magas oxigéntisztasági követelményeket támasztó területeken használják.