Ngwaahịa
Oxygen dị ọcha, oxygen dị ọcha, oxygen dị ọcha (O2)
| Ihe | Nka nka | ||
| Oxygen dị ọcha | Oxygen dị oke ọcha | Ultrapure oxygen | |
| Oxygen (O2) ịdị ọcha (nkebi nke olu)/10-2≥ | 99,995 | 99,999 | 99,999 |
| Hydrogen (H2) ọdịnaya (irighiri olu)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Ihe dị n'ime Argon (Ar) (nkebi olu)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Nitrogen (N2) ọdịnaya (irighiri olu)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Carbon dioxide (CO2) ọdịnaya (irighiri olu)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Mkpokọta ọdịnaya hydrocarbon (ọnụego olu) (methane gbakọrọ)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| Mmiri (H2O) ọdịnaya (irighiri olu)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Ngwa ubi: tumadi na-eji na nkwadebe nke ọkọlọtọ gas ngwakọta, sayensị nnyocha, mmepụta nke integrated sekit na semiconductor ngwaọrụ, na ndị ọzọ ubi na elu chọrọ maka oxygen ịdị ọcha.
Dee ozi gị ebe a ziga anyị ya
