製品
電子ヘリウム
| アイテム | 技術的財産 |
| 高純度ヘリウム | |
| ヘリウム純度（体積分率）/10-2≥ | 99.999 |
| ネオン（Ne）含有量（体積分率）/10-6≤ | 4 |
| 水素（H2）含有量（体積分率）/10-6 ≤ | 1 |
| 酸素（O2）含有量（体積分率）/10-6 ≤ | 1 |
| アルゴン（Ar）含有量（体積分率）/10-6 ≤ | |
| 窒素（N2）含有量（体積分率）/10-6 ≤ | 2 |
| 一酸化炭素（CO）含有量（体積分率）/10-6≤ | 0.5 |
| 二酸化炭素（CO2）含有量（体積分率）/10-6≤ | 0.5 |
| メタン（CH4）含有量（体積分率）/10-6≤ | 0.5 |
| 水H2O含有量（体積分率）/10-6≤ | 3 |
| 雑誌コンテンツ合計/10-6≤ | 10 |
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