
| アイテム | 技術的財産 |
| 高純度ネオン | |
| ネオン(Ne)純度(体積分率)/10-2≥ | 99.999 |
| ヘリウム(He)含有量(体積分率)/10-6≤ | 6 |
| 水素(H2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 1 |
| 酸素+アルゴン(酸素で計算)(O2+Ar)含有量(体積分率)/10-6≤ | 1 |
| 窒素(N2) 含有量(体積分率)zz/10-6≤ | 2 |
| 一酸化炭素(CO)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.2 |
| 二酸化炭素(CO2)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.2 |
| メタン(CH4)含有量(体積分率)/10-6≤ | 0.1 |
| 水(H2O)含有量(体積分率)/10-6≤ | 2 |
| 総不純物含有量(体積分率)/10-6≤ | 10 |