
| Элемент | Техникалық мүлік |
| Жоғары таза гелий | |
| Helium He тазалығы (көлемдік үлес)/10-2≥ | 99.999 |
| Неон (Ne) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 4 |
| Сутегі (H2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6 ≤ | 1 |
| Оттегі (О2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6 ≤ | 1 |
| Аргон (Ar) құрамы (көлемдік үлес)/10-6 ≤ | |
| Азот (Н2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6 ≤ | 2 |
| Көміртек тотығы (СО) мөлшері (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0,5 |
| Көмірқышқыл газы (CO2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0,5 |
| Метан (CH4) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0,5 |
| Су H2O мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 3 |
| Жалпы журнал мазмұны/10-6≤ | 10 |