
| Элемент | Техникалық мүлік |
| Тазалығы жоғары неон | |
| Неон (Ne) тазалығы (көлемдік үлес)/10-2≥ | 99.999 |
| Гелий (He) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 6 |
| Сутегі (H2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 1 |
| Оттегі+аргон (оттегімен есептелген) (О2+Ar) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 1 |
| Азот (Н2) мазмұны (көлемдік үлес) zz/10-6≤ | 2 |
| Көміртек тотығы (СО) мөлшері (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.2 |
| Көмірқышқыл газы (CO2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.2 |
| Метан (CH4) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 0.1 |
| Су (H2О) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 2 |
| Қоспаның жалпы мөлшері (көлемдік үлес)/10-6≤ | 10 |