
| Элемент | Техникалық мүлік | ||
| Таза азот | Жоғары таза азот | Өте таза азот | |
| Азот (Н2) тазалығы (көлемдік үлес)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99,9999 |
| Оттегі (О2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 50 | 3 | 0.1 |
| Аргон (Ar) құрамы (көлемдік үлес)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Сутегі (H2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 15 | 1 | 0.1 |
| Көміртек тотығы (СО) мөлшері (көлемдік үлес)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Көмірқышқыл газы (CO2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 10 | 1 | 0.1 |
| Метан (CH4) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 5 | 1 | 0.1 |
| Су (H2О) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |