
| Элемент | Техникалық мүлік | ||
| Таза оттегі | Жоғары таза оттегі | Өте таза оттегі | |
| Оттегі (О2) тазалығы (көлемдік үлес)/10-2≥ | 99,995 | 99.999 | 99,9999 |
| Сутегі (H2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
| Аргон (Ar) құрамы (көлемдік үлес)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Азот (Н2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Көмірқышқыл газы (CO2) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0.1 |
| Көмірсутектердің жалпы мөлшері (көлемдік үлес) (метанмен есептелген)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0.1 |
| Су (H2О) мазмұны (көлемдік үлес)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Қолдану саласы: негізінен стандартты газ қоспасын дайындауда, ғылыми зерттеулерде, интегралдық схемалар мен жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде және оттегі тазалығына жоғары талаптар қоятын басқа салаларда қолданылады.