
| ធាតុ | ទ្រព្យសម្បត្តិបច្ចេកទេស |
| អេលីយ៉ូមភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ | |
| ហេលីយ៉ូម ភាពបរិសុទ្ធ (ប្រភាគភាគ)/១០-២≥ | 99.999 |
| មាតិកានីអុង (Ne) (ប្រភាគភាគ)/១០-៦≤ | 4 |
| អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6 ≤ | 1 |
| អុកស៊ីសែន (O2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6 ≤ | 1 |
| មាតិកា Argon (Ar) (ប្រភាគភាគ)/10-6 ≤ | |
| អាសូត (N2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6 ≤ | 2 |
| មាតិកាកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត (CO) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.៥ |
| កាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.៥ |
| មេតាន (CH4) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.៥ |
| ទឹក H2ខ្លឹមសារ O (ប្រភាគភាគ)/១០-6≤ | 3 |
| មាតិកាទស្សនាវដ្តីសរុប/១០-6≤ | 10 |