
| ធាតុ | ទ្រព្យសម្បត្តិបច្ចេកទេស |
| អ៊ីយូតានៃភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ | |
| នីយ៉ុង (Ne) ភាពបរិសុទ្ធ (ប្រភាគភាគ)/១០-2≥ | 99.999 |
| មាតិកា Helium (He) (ប្រភាគភាគ)/10-6≤ | 6 |
| អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | 1 |
| អុកស៊ីហ្សែន + អាហ្គុន (គណនាដោយអុកស៊ីសែន) (O2+Ar) ខ្លឹមសារ (ប្រភាគភាគ)/១០-6≤ | 1 |
| អាសូត (N2) មាតិកា (ប្រភាគបរិមាណ) zz/10-6≤ | 2 |
| មាតិកាកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត (CO) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | ០.២ |
| កាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.២ |
| មេតាន (CH4) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | ០.១ |
| ទឹក (H2O) ខ្លឹមសារ (ប្រភាគភាគ)/១០-6≤ | 2 |
| មាតិកាមិនបរិសុទ្ធសរុប (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 10 |