
| ធាតុ | ទ្រព្យសម្បត្តិបច្ចេកទេស | ||
| អាសូតសុទ្ធ | អាសូតដែលមានភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់។ | អាសូតសុទ្ធ | |
| អាសូត (N2ភាពបរិសុទ្ធ (ប្រភាគបរិមាណ)/១០-2≥ | 99.99 | 99.999 | 99.9999 |
| អុកស៊ីសែន (O2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | 50 | 3 | ០.១ |
| មាតិកា Argon (Ar) (ប្រភាគភាគ)/10-6≤ | - | - | 2 |
| អ៊ីដ្រូសែន (H2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | 15 | 1 | ០.១ |
| មាតិកាកាបូនម៉ូណូអុកស៊ីត (CO) (ប្រភាគបរិមាណ)/10-6≤ | 5 | 1 | ០.១ |
| កាបូនឌីអុកស៊ីត (CO2) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | 10 | 1 | ០.១ |
| មេតាន (CH4) មាតិកា (ប្រភាគភាគ) / ១០-6≤ | 5 | 1 | ០.១ |
| ទឹក (H2O) ខ្លឹមសារ (ប្រភាគភាគ)/១០-6≤ | 15 | 3 | ០.៥ |