
| Şanî | Taybetmendiya Teknîkî | ||
| Oksîjena paqij | Oksîjena paqijiya bilind | Oksîjena pir paqij | |
| Oksîjen (O2) paqijî (rêjeya qebareyê)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Hîdrojen (H2) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Naveroka Argonê (Ar) (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Nîtrojen (N2) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Karbondîoksît (CO2) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Naveroka tevahî ya hîdrokarbonê (fraksîyona qebareyê) (bi metanê hatiye hesabkirin)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| Av (H2O) naverok (rêjeya qebareyê)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Qada serîlêdanê: bi giranî di amadekirina tevliheviya gaza standard, lêkolînên zanistî, hilberîna devreyên yekbûyî û cîhazên nîvconductor, û warên din ên ku hewcedariyên bilind ji bo paqijiya oksîjenê hene de tê bikar anîn.