
| Ставка | Технички имот | ||
| Чист азот | Азот со висока чистота | Ултрачист азот | |
| Азот (N2) чистота (волуменски удел)/10-2≥ | 99,99 | 99.999 | 99,9999 |
| Кислород (O2) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
| Содржина на аргон (Ar) (волуменски удел)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Водород (H2) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
| Содржина на јаглерод моноксид (CO) (волуменски удел)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Јаглерод диоксид (CO2) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
| Метан (CH4) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Вода (H2O) содржина (волуменски удел)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |