
| Зүйл | Техникийн өмч | |
| Аргон (Ар) цэвэршилт (эзэлхүүний хэсэг)/10-2≥ | 99.9999 | 99.9992 |
| Устөрөгч (H2) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 0.1 | 1 |
| Азот (Н2) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 0.5 | 5 |
| Хүчилтөрөгч (О2) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| Нүүрстөрөгчийн дутуу исэл (CO) ба нүүрстөрөгчийн давхар ислийн (CO2), (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | Нүүрстөрөгчийн дутуу исэл: 0.1 Нүүрстөрөгчийн давхар исэл: 0.1 | 0.5 |
| Нийт нүүрсустөрөгчийн (метанаар тооцоолсон) агууламж (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 0.1 | 0.5 |
| Ус (H2O) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 0.2 | 0.5 |
| Нийт хольцын агууламж (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Үр тариа | Нийлүүлэгч болон Захиалагч хоёр тохиролцсон | Нийлүүлэгч болон Захиалагч хоёр тохиролцсон |
| Тайлбар: Шингэн аргон дахь усны агууламжийг хийжүүлсэний дараа хэмжинэ | ||
Хэрэглээний талбар: голчлон системийг цэвэрлэх, хамгаалах, дарах зорилгоор ашигладаг. Үүнийг химийн уур ялгаруулах, шүрших, плазм болон идэвхтэй ион шингэлэх, зөөлрүүлэх болон бусад янз бүрийн процессуудад, мөн электрон тусгай холимог хийд ашиглаж болно.