Бүтээгдэхүүн
Цэвэр хүчилтөрөгч，Өндөр цэвэр хүчилтөрөгч，Хэт цэвэр хүчилтөрөгч (O2)
| Зүйл | Техникийн өмч | ||
| Цэвэр хүчилтөрөгч | Өндөр цэвэршилттэй хүчилтөрөгч | Хэт цэвэр хүчилтөрөгч | |
| Хүчилтөрөгч (О2) цэвэршилт (эзэлхүүний хэсэг)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| Устөрөгч (H2) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Аргон (Ar) агууламж (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| Азот (Н2) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| Нүүрстөрөгчийн давхар исэл (CO2) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| Нийт нүүрсустөрөгчийн агууламж (эзэлхүүний хэсэг) (метанаар тооцоолсон)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| Ус (H2O) агуулга (эзэлхүүний хэсэг)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
Хэрэглээний талбар: стандарт хийн хольц бэлтгэх, шинжлэх ухааны судалгаа хийх, нэгдсэн хэлхээ, хагас дамжуулагч төхөөрөмж үйлдвэрлэх, хүчилтөрөгчийн цэвэршилтийн өндөр шаардлага бүхий бусад салбарт ашигладаг.
Энд мессежээ бичээд бидэнд илгээгээрэй
