अनुप्रयोग क्षेत्र: प्रामुख्याने प्रणालीचे शुद्धीकरण, संरक्षण आणि दाब यासाठी वापरले जाते. हे रासायनिक वाष्प निक्षेपण, थुंकणे, प्लाझ्मा आणि सक्रिय आयन उत्कीर्णन, अॅनिलिंग आणि इतर विविध प्रक्रियांमध्ये तसेच इलेक्ट्रॉनिक विशेष मिश्रित वायूमध्ये देखील वापरले जाऊ शकते.