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इलेक्ट्रॉनिक हेलियम
| आयटम | तांत्रिक मालमत्ता |
| उच्च शुद्धता असलेले हेलियम | |
| हेलियम हे शुद्धता (खंड अपूर्णांक)/१०-२≥ | ९९.९९९ |
| निऑन (Ne) प्रमाण (खंड अपूर्णांक)/१०-६≤ | 4 |
| हायड्रोजन (एच2) सामग्री (खंड अपूर्णांक)/१०-6 ≤ | 1 |
| ऑक्सिजन (O)2) सामग्री (खंड अपूर्णांक)/१०-6 ≤ | 1 |
| आर्गॉन (Ar) चे प्रमाण (खंड अपूर्णांक)/१०-6 ≤ | |
| नायट्रोजन (एन)2) सामग्री (खंड अपूर्णांक)/१०-6 ≤ | 2 |
| कार्बन मोनोऑक्साइड (CO) चे प्रमाण (खंड अपूर्णांक)/१०-6≤ | ०.५ |
| कार्बन डायऑक्साइड (CO2) सामग्री (खंड अपूर्णांक)/१०-6≤ | ०.५ |
| मिथेन (CH4) सामग्री (खंड अपूर्णांक)/१०-6≤ | ०.५ |
| पाणी एच2O सामग्री (खंड अपूर्णांक)/१०-6≤ | 3 |
| एकूण मासिक सामग्री/१०-6≤ | 10 |
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