Prodotti
Tetrafluworidu tal-Karbonju
It-tetrafluworometan, magħruf ukoll bħala tetrafluworidu tal-karbonju, huwa l-aktar fluworokarbonju sempliċi (CF4). Għandu saħħa ta' rbit għolja ħafna minħabba n-natura tar-rabta bejn il-karbonju u l-fluworidu. Jista' jiġi kklassifikat ukoll bħala aloalkan jew alometan. Minħabba r-rabtiet multipli bejn il-karbonju u l-fluworidu, u l-ogħla elettronegattività tal-fluworidu, il-karbonju fit-tetrafluworometan għandu ċarġ parzjali pożittiv sinifikanti li jsaħħaħ u jqassar l-erba' rabtiet bejn il-karbonju u l-fluworidu billi jipprovdi karattru joniku addizzjonali. It-tetrafluworometan huwa gass serra qawwi.
It-tetrafluworometan xi kultant jintuża bħala refriġerant f'temperatura baxxa. Jintuża fil-mikrofabbrikazzjoni tal-elettronika waħdu jew flimkien mal-ossiġnu bħala sustanza li tagħfas il-plażma għas-silikon, id-dijossidu tas-silikon, u n-nitrur tas-silikon.
| Formula kimika | CF4 | Piż molekulari | 88 |
| Numru CAS | 75-73-0 | Numru tal-EINECS | 200-896-5 |
| Punt tat-tidwib | -184℃ | Punt tat-togħlija | -128.1℃ |
| solubbiltà | Insolubbli fl-ilma | Densità | 1.96g/ċm³（-184℃） |
| Dehra | Gass bla kulur, bla riħa, mhux fjammabbli, u kompressibbli | Applikazzjoni | użat fil-proċess ta' inċiżjoni tal-plażma għal diversi ċirkwiti integrati, u użat ukoll bħala gass tal-lejżer, refriġerant eċċ. |
| Numru tal-ID tad-DOT | NU1982 | ISEM TAT-TBAĦĦIR DOT/IMO: | Tetrafluworometan, Gass Kompressat jew Refriġerant R14 |
| Klassi ta' Periklu tad-DOT | Klassi 2.2 |
| Oġġett | Valur, grad I | Valur, grad II | Unità |
| Purità | ≥99.999 | ≥99.9997 | % |
| O2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| N2 | ≤4.0 | ≤1.0 | ppmv |
| CO | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| CO2 | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| SF6 | ≤0.8 | ≤0.2 | ppmv |
| Fluworokarboni oħra | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2O | ≤1.0 | ≤0.5 | ppmv |
| H2 | ≤1.0 | —— | ppmv |
| Aċidità | ≤0.1 | ≤0.1 | ppmv |
| *fluworokarboni oħra jirreferu għal C2F6Ċ3F8 | |||
Noti
1) id-dejta teknika kollha indikata hawn fuq hija għar-referenza tiegħek.
2) speċifikazzjoni alternattiva hija milqugħa għal aktar diskussjoni.
