
| Item | Technische Eigendom | ||
| Zuivere zuurstof | Zuurstof met hoge zuiverheid | Ultrazuivere zuurstof | |
| Zuurstof (O2) zuiverheid (volumefractie)/10-2≥ | 99,995 | 99.999 | 99,9999 |
| Waterstof (H2) inhoud (volumefractie)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Argon (Ar)-gehalte (volumefractie)/10-6≤ | 10 | 2 | 0,2 |
| Stikstof (N2) inhoud (volumefractie)/10-6≤ | 20 | 5 | 0,1 |
| Koolstofdioxide (CO2) inhoud (volumefractie)/10-6≤ | 1 | 0,5 | 0,1 |
| Totaal koolwaterstofgehalte (volumefractie) (berekend op basis van methaan)/10-6≤ | 2 | 0,5 | 0,1 |
| Water (H2O) inhoud (volumefractie)/10-6≤ | 3 | 2 | 0,5 |
Toepassingsgebied: voornamelijk gebruikt bij de bereiding van standaard gasmengsels, wetenschappelijk onderzoek, productie van geïntegreerde schakelingen en halfgeleiderapparaten en andere gebieden met hoge eisen aan de zuiverheid van zuurstof.