Produkter
Karbontetrafluorid
Tetrafluormetan, også kjent som karbontetrafluorid, er det enkleste fluorkarbonet (CF4). Det har en veldig høy bindingsstyrke på grunn av karbon-fluor-bindingens natur. Det kan også klassifiseres som en haloalkan eller halometan. På grunn av de mange karbon-fluor-bindingene og den høyeste elektronegativiteten til fluor, har karbonet i tetrafluormetan en betydelig positiv partiell ladning som styrker og forkorter de fire karbon-fluor-bindingene ved å gi ytterligere ionisk karakter. Tetrafluormetan er en potent klimagass.
Tetrafluormetan brukes noen ganger som et lavtemperaturkjølemiddel. Det brukes i elektronikkmikrofabrikasjon alene eller i kombinasjon med oksygen som et plasmaetsemiddel for silisium, silisiumdioksid og silisiumnitrid.
| Kjemisk formel | CF4 | Molekylvekt | 88 |
| CAS-nr. | 75-73-0 | EINECS-nr. | 200-896-5 |
| Smeltepunkt | -184 ℃ | Boling-punktet | -128,1 ℃ |
| løselighet | Uløselig i vann | Tetthet | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Utseende | En fargeløs, luktfri, ikke-brennbar, kompressibel gass | Søknad | brukes i plasmaetsingsprosessen for ulike integrerte kretser, og brukes også som lasergass, kjølemiddel etc. |
| DOT-ID-nummer | FN1982 | DOT/IMO-fraktnavn: | Tetrafluormetan, komprimert gass eller kjølegass R14 |
| DOT-fareklasse | Klasse 2.2 |
| Punkt | Verdi, klasse I | Verdi, klasse II | Enhet |
| Renhet | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Andre fluorkarboner | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Surhet | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *andre fluorkarboner refererer til C2F6C3F8 | |||
Notater
1) Alle tekniske data angitt ovenfor er kun til referanse.
2) Alternative spesifikasjoner er velkomne for videre diskusjon.
