Produkty
Czterofluorek węgla
Tetrafluorometan, znany również jako tetrafluorek węgla, jest najprostszym fluorowęglowodorem (CF4). Charakteryzuje się bardzo wysoką siłą wiązania dzięki charakterowi wiązania węgiel-fluor. Można go również sklasyfikować jako haloalkan lub halometan. Ze względu na liczne wiązania węgiel-fluor i najwyższą elektroujemność fluoru, węgiel w tetrafluorometanie ma znaczny dodatni ładunek cząstkowy, który wzmacnia i skraca cztery wiązania węgiel-fluor, zapewniając dodatkowy charakter jonowy. Tetrafluorometan jest silnym gazem cieplarnianym.
Tetrafluorometan jest czasami stosowany jako czynnik chłodniczy w niskich temperaturach. Jest stosowany w mikroobróbce elektroniki samodzielnie lub w połączeniu z tlenem jako środek do trawienia plazmowego krzemu, dwutlenku krzemu i azotku krzemu.
| Wzór chemiczny | CF4 | Masa cząsteczkowa | 88 |
| Numer CAS | 75-73-0 | Numer EINECS. | 200-896-5 |
| Temperatura topnienia | -184℃ | Temperatura wrzenia | -128,1℃ |
| rozpuszczalność | Nierozpuszczalny w wodzie | Gęstość | 1,96 g/cm³ (-184℃) |
| Wygląd | Bezbarwny, bezwonny, niepalny, sprężalny gaz | Aplikacja | stosowany w procesie trawienia plazmowego różnych układów scalonych, a także jako gaz laserowy, czynnik chłodniczy itp. |
| Numer identyfikacyjny DOT | ONZ 1982 | NAZWA WYSYŁKOWA DOT/IMO: | Tetrafluorometan, sprężony gaz lub czynnik chłodniczy R14 |
| Klasa zagrożenia DOT | Klasa 2.2 |
| Przedmiot | Wartość, klasa I | Wartość, klasa II | Jednostka |
| Czystość | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Inne fluorowęglowodory | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Kwasowość | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *inne fluorowęglowodory odnoszą się do C2F6,C3F8 | |||
Notatki
1) Wszystkie podane wyżej dane techniczne służą wyłącznie jako punkt odniesienia.
2) mile widziane są alternatywne specyfikacje do dalszej dyskusji.
