
| Przedmiot | Własność techniczna | ||
| Czysty azot | Azot o wysokiej czystości | Ultraczysty azot | |
| Azot (N2) czystość (ułamek objętości)/10-2≥ | 99,99 | 99,999 | 99,9999 |
| Tlen (O2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
| Zawartość argonu (Ar) (ułamek objętościowy)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Wodór (H2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
| Zawartość tlenku węgla (CO) (ułamek objętościowy)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Dwutlenek węgla (CO2) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
| Metan (CH4) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Woda (H2O) zawartość (ułamek objętości)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |