
| شيءِ | ٽيڪنيڪل ملڪيت | ||
| خالص آڪسيجن | اعليٰ پاڪائي وارو آڪسيجن | الٽرا پيور آڪسيجن | |
| آڪسيجن (O)2) پاڪائي (حجم حصو)/10-2≥ | 99.995 | 99.999 | 99.9999 |
| هائيڊروجن (ايڇ)2) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| آرگن (Ar) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 10 | 2 | 0.2 |
| نائٽروجن (ن)2) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 20 | 5 | 0.1 |
| ڪاربان ڊاءِ آڪسائيڊ (CO2) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 1 | 0.5 | 0.1 |
| ڪُل هائيڊرو ڪاربن جو مقدار (حجم جو حصو) (ميٿين جي حساب سان)/10-6≤ | 2 | 0.5 | 0.1 |
| پاڻي (H2O) مواد (حجم حصو)/10-6≤ | 3 | 2 | 0.5 |
ايپليڪيشن فيلڊ: خاص طور تي معياري گئس مرکب جي تياري، سائنسي تحقيق، انٽيگريٽڊ سرڪٽ ۽ سيمي ڪنڊڪٽر ڊوائيسز جي پيداوار، ۽ آڪسيجن جي پاڪائي لاءِ اعليٰ گهرجن سان ٻين شعبن ۾ استعمال ٿيندو آهي.