Produkty
Argónový plyn pre elektronický priemysel (Ar)
| Položka | Technické vlastnosti | |
| Čistota argónu (Ar) (objemový zlomok)/10-2≥ | 99,9999 | 99,9992 |
| Vodík (H2) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 0,1 | 1 |
| Dusík (N2) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 0,5 | 5 |
| Kyslík (O2) obsah (objemový zlomok)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Celkový obsah oxidu uhoľnatého (CO) a oxidu uhličitého (CO2), (objemový zlomok)/10-6≤ | Oxid uhoľnatý: 0,1 Oxid uhličitý: 0,1 | 0,5 |
| Celkový obsah uhľovodíkov (vypočítaný z metánu) (objemový zlomok)/10-6≤ | 0,1 | 0,5 |
| Voda (H2obsah O) (objemový zlomok)/10-6≤ | 0,2 | 0,5 |
| Celkový obsah nečistôt (objemový zlomok)/10-6≤ | 1 | 8 |
| Obilie | Dohodnuté medzi dodávateľom a žiadateľom | Dohodnuté medzi dodávateľom a žiadateľom |
| Poznámka: Obsah vody v kvapalnom argóne sa meria po splyňovaní. | ||
Oblasť použitia: používa sa hlavne na čistenie, ochranu a natlakovanie systému. Môže sa použiť aj pri chemickom nanášaní z pár, naprašovaní, plazmovom a aktívnom iónovom leptaní, žíhaní a iných rôznych procesoch, ako aj v špeciálnych elektronických zmesných plynoch.
Napíšte sem svoju správu a pošlite nám ju
