Produkty
Tetrafluorid uhlíka
Tetrafluórmetán, tiež známy ako tetrafluorid uhlíka, je najjednoduchší fluórovaný uhľovodík (CF4). Vďaka povahe väzby uhlík-fluór má veľmi vysokú väzbovú silu. Môže sa tiež klasifikovať ako halogénalkán alebo halogénmetán. Vďaka viacnásobným väzbám uhlík-fluór a najvyššej elektronegativite fluóru má uhlík v tetrafluórmetáne významný kladný parciálny náboj, ktorý posilňuje a skracuje štyri väzby uhlík-fluór tým, že mu dodáva ďalší iónový charakter. Tetrafluórmetán je silný skleníkový plyn.
Tetrafluórmetán sa niekedy používa ako nízkoteplotné chladivo. Používa sa v mikrovýrobe elektroniky samostatne alebo v kombinácii s kyslíkom ako plazmové leptadlo pre kremík, oxid kremičitý a nitrid kremíka.
| Chemický vzorec | CF4 | Molekulová hmotnosť | 88 |
| Číslo CAS | 75-73-0 | Číslo EINECS | 200-896-5 |
| Bod topenia | -184 ℃ | Bod varu | -128,1 ℃ |
| rozpustnosť | Nerozpustný vo vode | Hustota | 1,96 g/cm³ (-184 ℃) |
| Vzhľad | Bezfarebný, bez zápachu, nehorľavý, stlačiteľný plyn | Aplikácia | používa sa v procese plazmového leptania rôznych integrovaných obvodov a používa sa aj ako laserový plyn, chladivo atď. |
| Identifikačné číslo DOT | OSN1982 | DOT/IMO NÁZOV PREPRAVCU: | Tetrafluórmetán, stlačený alebo chladiaci plyn R14 |
| Trieda nebezpečnosti DOT | Trieda 2.2 |
| Položka | Hodnota, stupeň I | Hodnota, stupeň II | Jednotka |
| Čistota | ≥99,999 | ≥99,9997 | % |
| O2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| N2 | ≤4,0 | ≤1,0 | ppmv |
| CO | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| CO2 | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| SF6 | ≤0,8 | ≤0,2 | ppmv |
| Iné fluórované uhľovodíky | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2O | ≤1,0 | ≤0,5 | ppmv |
| H2 | ≤1,0 | —— | ppmv |
| Kyslosť | ≤0,1 | ≤0,1 | ppmv |
| *ostatné fluórované uhľovodíky označujú C2F6C3F8 | |||
Poznámky
1) všetky vyššie uvedené technické údaje slúžia len na informáciu.
2) alternatívna špecifikácia je vítaná na ďalšiu diskusiu.
