
| Predmet | Tehnična lastnina | ||
| Čisti dušik | Visoko čist dušik | Ultračisti dušik | |
| Dušik (N2) čistost (volumski delež)/10-2≥ | 99,99 | 99,999 | 99,9999 |
| Kisik (O2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 50 | 3 | 0,1 |
| Vsebnost argona (Ar) (volumski delež)/10-6≤ | - | - | 2 |
| Vodik (H2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 15 | 1 | 0,1 |
| Vsebnost ogljikovega monoksida (CO) (volumski delež)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Ogljikov dioksid (CO2) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 10 | 1 | 0,1 |
| Metan (CH4) vsebnost (volumski delež)/10-6≤ | 5 | 1 | 0,1 |
| Voda (H2vsebnost O) (volumski delež)/10-6≤ | 15 | 3 | 0,5 |