
| Punkt | Teknisk egenskap | ||
| Hög renhet xenon GB/T5828-2006 | Ultraren xenon | ||
| Xenon (Xe) renhet (volymfraktion)/10-2≥ | 99,999 | 99,9995 | 99,9999 |
| Kväve (N2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 2,5 | 1,5 | 0,2 |
| Syre (O2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 1,5(O2+Ar) | 0,5(O2+Ar) | 0,1 |
| Argon (Ar) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 0,05 | ||
| Väte (H2) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 0,5 | 0,5 | 0,05 |
| Kolmonoxid (CO)-halt (volymfraktion)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05(CO+CO2) |
| Koldioxidhalt (CO2) (volymfraktion)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | |
| Metan (CH4) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 0,3 | 0,1 | 0,05 |
| Vatten (H2O) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
| Kryptonhalt (Kr) (volymfraktion)/10-6≤ | 2 | 1 | 0,1 |
| Lustgas (N2O) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 0,2 | 0,1 | 0,05 |
| Fluorid (C2F6) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | 0,5 | 0,1 | 0,05 |
| Fluorid (SF6) innehåll (volymfraktion)/10-6≤ | Ej tillämpligt | Ej tillämpligt | 0,05 |
Användningsområden: används huvudsakligen inom halvledarindustrin, flyg- och rymdindustrin, elektrisk ljuskälla, medicinsk behandling, elektriskt vakuum, forskning om mörk materia, laser och andra områden